半导体制造用干式真空泵是一种采用干式技术，即在泵内不使用润滑油或其他液体的真空泵。这种泵具备高效、可靠、低噪音、低振动等优点，能避免油污染和泄漏问题，从而满足半导体制造中对清洁真空环境的高要求。干式真空泵广泛应用于单晶拉晶、Load-Lock、刻蚀、CVD、原子层沉积（ALD）、封装、测试等清洁或严苛制程。
市场分析
厂商分析
目前，全球半导体真空泵市场由国际厂商主导，海外厂商占据了超过90%的市场份额。主要国际厂商包括Edwards（瑞典Atlas子公司）、Ebara（日本）、Pfeiffer Vacuum（德国）、Kashiyama（日本）等。国内厂商主要包括汉钟精机和中科仪，其中汉钟精机主要采用螺杆干式真空泵，拥有PMF、iPM、iPH系列干式真空泵产品。
行业驱动因素
产品需求增长：随着半导体、光电、医疗、航空航天等领域的快速发展，对半导体干式真空泵的需求不断增加。技术发展：技术的不断进步和创新，使得半导体干式真空泵的性能和质量不断提高，市场竞争更加激烈。政策支持：政府对半导体、光电、医疗、航空航天等领域的支持和鼓励，为半导体干式真空泵市场的发展提供了有力的政策支持。
市场预测
根据路亿市场策略市场研究报告，2022年全球真空干泵市场规模达到了3326.41百万美元，预计2029年将达到6163.01百万美元，年复合增长率（CAGR）为9.29%。其中，中国市场在过去几年变化较快，2022年市场规模为1009.20百万美元，约占全球的30.34%，预计2029年将达到1967.18百万美元，全球占比将达到31.92%。
应用领域拓展与新兴市场
半导体干式真空泵不仅应用于半导体制造，还广泛应用于光伏、LED、平板显示、锂电池、制药、化工等行业。随着新兴行业的发展和科技进步，真空干泵的应用范围将继续扩大。例如，在制药业中，干式真空泵用于保持适宜的反应环境，以及用于新药研发活动。在航空航天领域，卫星、火箭等的制造都需要用到干式真空泵。
政策影响因素
政府对半导体产业的支持政策对干式真空泵市场产生了积极影响。各国政府纷纷出台相关政策，鼓励半导体产业的发展，从而推动了半导体干式真空泵市场的增长。此外，环保和可持续发展政策的推动，也促使干式真空泵制造商更加关注产品的能效和环境友好性。
渠道布局
半导体干式真空泵市场的渠道布局主要包括上游原材料和零部件供应商、中游设备制造商以及下游终端用户。上游供应商提供金属材料、电子元器件、机械零部件等；中游设备制造商生产半导体干式真空泵；下游终端用户则涵盖半导体、光电、医疗、航空航天等领域的企业和机构。
在渠道布局方面，国内厂商正在逐步扩大市场份额。例如，汉钟精机已经在联电、力积电等取得突破，未来有较大的国产替代空间。同时，国内厂商也在不断加强与下游用户的合作关系，提供定制化解决方案和售后服务支持。
结语
综上所述，半导体制造用干式真空泵市场前景广阔。随着半导体、光电、医疗、航空航天等领域的不断发展，对半导体干式真空泵的需求将持续增长。同时，技术的不断进步和创新将推动产品性能和质量的提升。国内厂商应抓住机遇，加强技术研发和市场拓展，提高市场竞争力，以实现更大的市场份额。
